半导体工艺设备Semiconductor Processing Equipment
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管式氧化及退火炉 Tubular Oxidation and Annealing Furnace主要应用于集成电路、分立器件、电力电子器件的掺杂、氧化、退火、合金及烧结等工艺，控制半导体材料的杂质分布与电特性...查看更多 + -
真空退火炉 Vacuum Alloy Furnace真空退火炉是一种在真空环境中对半导体材料或器件进行退火处理的设备，其应用领域十分广泛查看更多 + -
无氧烘箱 Oxygen-free Oven无氧烘箱，半导体的无尘烘干等工艺。设备运行时，腔室内设定含量， 系统根据腔室内的含氧量自动开启N2，将腔室内的含氧量...查看更多 + -
气氛保护烧结炉 Atmosphere-Protected Sintering Furnace主要应用于半导体器件、金属陶瓷、可控硅器件、玻璃封装器件以及各种厚膜电路的烧结和焊接、排腊、烘等工艺。还可应用于...查看更多 +