真空退火炉主要用于4-6英寸圆晶在真空环境下合金等工艺。

主要技术指标

◆ 工位：单管卧式结构

◆ 送料方式：手动或自动取送舟

◆ 炉体移动：自动控制（炉体具有移开腔室自动关门功能）

◆ 工作温度范围：300～1000℃

◆ 恒温区：＞300mm

◆ 恒温区(300mm)控制精度：±1℃

◆ 升温速率：≥15℃/min

◆ 降温速率：＞3℃/min

◆ 4、6寸石英舟：装片量＞50片

◆ 腔室冷却方式：腔室底部风冷

◆ 真空度：优于1*10-3Pa（冷态）

◆ 真空室漏率：≤0.667Pa/h（冷态）

◆ 抽真空时间：≤15分钟（开机） ≤5分钟（高真空工作状态）

Key parameters

◆ Types: Single tube horizontal furnace

◆ Feeding method: manual or automatic

◆ Furnace body movement: automatic control (the furnace body has the function of automatically closing the door when moving the chamber)

◆ Working temperature range: 300~1000℃

◆ Length of temp. zone: > 300mm

◆ Temp. Zone accuracy: ±1℃

◆ Max heating rate: ≥15℃/min

◆ Max cooling rate: > 3℃/min

◆ Quartz boat: Loading quantity > 50 pieces

◆ Chamber cooling: Air cooling at the bottom of the chamber

◆ Vacuum: better than 1*10-3Pa (cold state)

◆ Vacuum chamber leakage rate: ≤0.667Pa/h (cold state)

◆ Vacuum pumping time: ≤15 minutes (startup) ≤5 minutes (high vacuum working state)