俄罗斯 ENtec 国际公司验收团队莅临我司，对定制化半导体芯片氧化炉进行现场最终验收！

2025-06-08    青岛赛瑞得伟创电子科技有限公司

       6月8日，俄罗斯 ENtec 国际公司验收团队莅临我司，对定制化半导体芯片氧化炉进行现场最终验收。经过多维度严苛测试，设备各项性能指标均优于合同标准，ENtec 团队当场签署验收合格文件，并对设备品质与技术服务给予高度评价，标志着双方在半导体制造装备领域的首次合作圆满达成。

       多维严苛测试，全面验证设备性能​。 本次验收严格遵循 SEMI 国际半导体行业规范，涵盖设备核心性能、工艺稳定性及安全合规性三大维度。在功能性检验环节，ENtec 团队重点测试了氧化炉的温度控制精度与气氛调节能力，数据显示设备均温区温差控制在 ±0.4℃以内，O2、N2、H2等气体流量调节误差小于 0.1slm，远超合同约定的 ±1℃与 0.5slm 标准。 定制化解决方案，契合客户核心需求。

       ENtec 公司此次采购芯片氧化炉，旨在升级其半导体器件配套生产能力，强化供应链自主可控性。针对客户对小批量多规格生产的需求，我司在设备设计中融入多项定制化创新：采用可编程温控系统，支持 700-1280℃范围内的多段升温曲线设置；优化石英炉管结构，将炉内杂质含量控制在 SEMI标准 以下，有效降低氧化层缺陷率。

       “这款设备的工艺重复性和洁净控制能力超出预期，完全能满足我们对高精度氧化层的生产要求。”ENtec 验收负责人在现场表示，“尤其在气氛切换响应速度上，比我们现有设备提升 40%，将显著缩短生产周期。”​ 全流程技术保障，深化国际合作信任。​

        为确保验收顺利推进，我司组建了由工艺工程师、设备运维专家组成的专项服务团队，提前完成设备安装调试与操作培训，并针对俄罗斯当地电网环境优化了供电系统适配性。验收期间，技术团队实时解答工艺参数优化、日常维护等问题，提供了从设备操作到故障诊断的全链条指导。​ 此次验收通过不仅是对我司半导体装备研发实力的认可，更为双方后续合作奠定了坚实基础。ENtec 公司已表达了后续采购外延生长配套设备的意向，双方将在供应链优化、工艺联合开发等领域探索深度合作。我司也将持续聚焦半导体设备核心技术突破，以更具竞争力的产品与服务拓展国际市场。​

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