技术革新！青岛赛瑞得伟创电子科技有限公司 获立式炉高精度控制系统专利，赋能半导体产业

2025-04-28    青岛赛瑞得伟创电子科技有限公司

      青岛赛瑞得伟创电子科技有限公司在技术创新征程中再添里程碑，成功斩获立式炉高精度控制系统专利，专利号为 2025SR0198568。这一重大成果标志着国产立式炉精度迎来质的飞跃，将为蓬勃发展的半导体产业注入强劲动力。​

       在半导体制造流程里，立式炉作为核心装备，其精度直接关乎产品质量、性能及生产效率。过往，国产立式炉在精度把控上，与国际顶尖水平存在一定落差，成为制约我国半导体产业迈向高端化、精细化发展的瓶颈。此次 青岛赛瑞得伟创电子科技有限公司]研发的立式炉高精度控制系统，针对这一痛点精准发力。通过对炉体结构、加热元件布局的巧妙优化，以及引入自主研发的先进智能算法，极大提升了立式炉温度控制的精准度与稳定性。经严苛测试，搭载该控制系统的国产立式炉，温度均匀性偏差控制在极小范围，气体流量精度达到行业领先水平，工艺重复性也显著增强，全方位满足了半导体制造对高精度工艺的严苛要求。

       据悉，该专利的研发之路历经数年磨砺，青岛赛瑞得伟创电子科技有限公司组建了跨多学科领域的精锐研发团队，涵盖材料学、自动化控制、精密机械制造等专业人才。研发期间，团队成员直面诸多技术难题，如复杂工况下的热场均衡、多元参数的协同控制等。他们凭借深厚的专业积淀与坚韧不拔的探索精神，经过无数次试验、优化，成功突破技术壁垒，让立式炉高精度控制系统从理论构想变为现实，并顺利实现产业化落地。​

      这一专利成果意义非凡，不仅彰显了青岛赛瑞得伟创电子科技有限公司卓越的技术实力与创新能力，更将在行业层面引发积极连锁反应。随着半导体产业持续向更高集成度、更小制程迈进，对高端设备的精度、稳定性需求愈发迫切。立式炉高精度控制系统的广泛应用，将有力推动我国半导体产品质量升级，增强国产半导体在全球市场的竞争力。同时，也为国内半导体设备制造企业树立技术标杆，带动上下游产业链协同创新，加速我国半导体产业自主可控、高质量发展的步伐。​

      展望未来，青岛赛瑞得伟创电子科技有限公司表示将坚定不移地加大技术创新投入，持续深耕立式炉高精度控制系统，不断拓展其应用场景与功能边界。积极携手半导体产业链上下游企业，开展深度合作，共同攻克产业发展难题，为我国半导体产业从大到强的蜕变贡献核心力量，助力我国在全球半导体领域占据更重要的战略地位。

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