公司荣获卧式高精度控制系统专利,为半导体产业注入新动力

2025-02-25    青岛赛瑞得伟创电子科技有限公司

       2025年2月25日,我公司在技术创新领域再传捷报,成功获得了卧式高精度控制系统的专利,专利号为 2025SR0198502。这一成果标志着公司在提升国产卧式炉精度方面取得了重大突破,将为半导体产业的发展提供有力支持。​

       卧式炉作为半导体制造过程中的关键设备,其精度直接影响到产品的质量和性能。长期以来,国产卧式炉在精度方面与国际先进水平存在一定差距,制约了我国半导体产业的发展。我公司研发的卧式高精度控制系统,通过对设备的核心部件和控制算法进行优化,有效提高了卧式炉的温度均匀性、气体流量控制精度和工艺重复性。经实际测试,采用该控制系统的国产卧式炉在关键指标上达到甚至超越了国际同类产品水平,为半导体企业提供了更加可靠、高效的生产解决方案。​

       据了解,该专利的研发过程历时多年,公司投入了大量的人力、物力和财力。研发团队汇聚了行业内的顶尖人才,他们在材料科学、自动化控制、精密制造等多个领域进行深入研究和协同创新。在攻克技术难题的过程中,团队成员克服了重重困难,经过无数次的试验和改进,最终成功实现了卧式高精度控制系统的产业化应用。​

       该专利的获得,不仅是公司技术实力的体现,也将对我国半导体产业产生积极的推动作用。随着半导体产业的快速发展,对高端设备和技术的需求日益增长。卧式高精度控制系统的应用,将有助于提高我国半导体产品的质量和竞争力,推动产业向高端化、智能化方向发展。同时,这也将进一步促进国内半导体设备制造企业的技术升级,带动相关产业链的协同发展。

       展望未来,公司将继续加大在技术创新方面的投入,不断完善和优化卧式高精度控制系统,拓展其在更多领域的应用。同时,公司也将积极与半导体企业开展合作,共同推动我国半导体产业的创新发展,为实现我国从半导体大国向半导体强国的转变贡献力量。


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