合金炉LED
Alloy Furnace
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设备主要特点Features of equipments ◆ 串级控温系统，恒温区高精度 ◆ 具有高抗干扰能力 ◆ 具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置 ◆ 支持SECS/GEM通讯 主要技术指标Key parameters ◆ 可配工艺管数量: 1~4管/台 ◆ 工作温度范围: 200~800℃ ◆ 恒温区长度: 300~1100mm ◆ 单点温度稳定性: ±1℃/24h ◆ 最大可控升温速度: 15℃/min ◆ 最大降温速度: 3℃/min |
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