设备主要特点Features of equipments

◆ 工艺曲线的自动运行控制功能

◆ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能

◆ 系统故障的检测与报警功能

◆ 系统误差修正(单点或多点动态修正功能)

◆ 停电后断点继续运行功能

◆ 该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能

◆ 支持SECS/GEM通讯

主要技术指标Key parameters

◆ 可配工艺管数量: 1~4管/台

◆ 工作温度范围: 200~800℃

◆ 恒温区长度: 300~1100mm

◆ 单点温度稳定性: ±0.5℃/24h

◆ 最大可控升温速度: 15℃/min

◆ 最大降温速度: 3℃/min